扩散泵
除非您观察到有与扩散泵油相关的故障，否则没有必要在一年内换两次扩散泵油。要检查扩散泵油，必须先将MSD 放空（5975/5973 除外）。因此，检查泵油的*时机是为做其它维护已将仪器放空时。
前级泵
前级泵油通常每6 个月更换一次，但要根据应用情况而改变。泵油更换后，如果有前级捕集器，则应更换分子筛。要防止与泵油接触。某些样品的残留可能是有毒的。用过的泵油要妥善处理。
订货信息: | |||
| 泵油 | |||
| 说明 | 5975系列 | 5973系列 | 5972/5971系列 |
| 扩散泵油，18.5mL | 6040-0809 需要2个 | 6040-0809 需要2个 | 6040-0809 |
| 前级泵油，P3，0.5L | 6040-0621 | ||
| 前级泵油，Inland 45, 1L | 6040-0834 | 6040-0834 | |
| 高真空润滑脂，25g | 6040-0289 | 6040-0289 | 6040-0289 |
